①又称“氧化作用”。指物质和氧化合的反应。即在氧化还原反应中失去电子的作用。如氧化铜和氢的反应中：cuo+h_2cu+h_2o氧化铜还原为铜，氢则被氧化为水。

②在半导体晶片表面制备氧化层的工艺。

化合：

两种或两种以上的物质经过化学反应而生成另一种物质，如氢与氧化合成水。

电子：

构成原子的基本粒子之一，质量极小，带负电，在原子中围绕原子核旋转。

工艺：

①将原材料或半成品加工成产品的工作、方法、技术等：工艺复杂ㄧ工艺精细。

②手工艺：工艺品。

表面：

事物的外表；最外层：表面现象｜显露于表面｜表面化。

半导体：

导电能力介于导体和绝缘体之间的物质，如锗、硅、硒和很多氧化物、硫化物等。这种物质具有单向导电等特性。