犹甚而至于。

至于：

①副词。表示事情达到某种程度：试题很简单，你不至于不及格吧?

②连词。表示另提一事或另一情况：文章写得很通畅，至于生动，是进一步的要求。

③到达：屈原至于江滨，被发行吟泽畔。

甚而至于：

用以提出突出的事例，表示更进一层达到某种程度。

甚至：

也作“甚或”。

①连词。用在并列词语最后一项之前，表示突出这一项：对于这个问题，好些人还不完全理解，甚至完全不理解。

②副词。强调突出的事例：这个古字甚至字典上也查不到。